নির্ভুল গতি নিয়ন্ত্রণ প্রযুক্তির পরিপ্রেক্ষিতে, উচ্চ-নির্ভুল চলন্ত অংশ এবং বন্ধ-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা যন্ত্রের নির্ভুলতা উন্নত করে। উদাহরণস্বরূপ, Sodick AL সিরিজ তার XYUV চারটি অক্ষে সঠিক অবস্থান এবং উচ্চ প্রতিক্রিয়া অর্জনের জন্য রৈখিক মোটর ব্যবহার করে; হানবা স্লো ওয়্যার ইডিএম মেশিন লিনিয়ার মোটর ড্রাইভ এবং গ্রেটিং রুলার ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে, ±2μm এর পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নির্ভুলতা অর্জন করে; servo-নিয়ন্ত্রিত ফুল ক্লোজড-লুপ ওয়্যার ইডিএম মেশিন একটি সার্ভো সিস্টেম এবং একটি পূর্ণ বন্ধ-লুপ ফিডব্যাক মেকানিজম ব্যবহার করে সঠিকতা নিশ্চিত করতে রিয়েল টাইমে অবস্থানের পার্থক্য নিরীক্ষণ করে। তাপীয় বিকৃতি ক্ষতিপূরণ প্রযুক্তি উচ্চ-নির্ভুল মেশিন টুল কাঠামোতেও প্রয়োগ করা হয়।
উন্নত মেশিনিং প্রক্রিয়ার পরিপ্রেক্ষিতে, এর মধ্যে রয়েছে নির্ভুল মাইক্রো-কাটিং, কম-রুক্ষতা কাটা, এবং উচ্চ সারফেস কোয়ালিটি মেশিনিং। ইউনিডাইরেকশনাল ওয়্যার ইডিএম মেশিনগুলি বুদ্ধিমান মাইক্রো-নির্ভুল পালস পাওয়ার সাপ্লাই, মাল্টি-কোনার কাটিংয়ের জন্য প্যারামিটার সহযোগী নিয়ন্ত্রণ, নির্ভুল মাইক্রো-কাটিং, এবং কম-রুক্ষতা কাটার মতো প্রযুক্তিগুলিকে মূর্ত করে। GF AgieCharmilles মেশিনগুলি সূক্ষ্ম-তারের প্রক্রিয়াগুলিকে সমর্থন করে, অতি-নির্ভুলতা যন্ত্রের জন্য ইলেক্ট্রোড তারগুলিকে φ0.03mm হিসাবে পাতলা করে এবং একটি ডুয়াল-তার সিস্টেমের সাথে সজ্জিত।